無塵車間驗收依據(jù)GB50073《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》和GB50591《潔凈室施工及驗收標(biāo)準(zhǔn)》，必須由CMA/CNAS資質(zhì)第三方機構(gòu)檢測。核心驗收指標(biāo)包括：①懸浮粒子濃度（十萬級≤3,520,000個/m3、萬級≤352,000個/m3、千級≤35,200個/m3、百級≤3,520個/m3，均≥0.5μm）；②靜壓差（潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)≥10Pa，不同等級間≥5Pa）；③
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