沾染等級(jí)個(gè)別分為100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí)，當(dāng)初2010年版的GMP沾染車間已經(jīng)不必這個(gè)叫法了，分為ABCD級(jí)別，分辨絕對(duì)應(yīng)于98版的多少個(gè)級(jí)別，通過檢測區(qū)域內(nèi)的塵埃粒子數(shù)、浮游菌數(shù)、沉降均數(shù)評(píng)估沾染級(jí)別，各個(gè)級(jí)別有不同的請求，沾染等級(jí)分靜態(tài)、動(dòng)態(tài)兩種。

　　(一)清潔室之等級(jí)
世界各國均有自定規(guī)格，但普遍還是用美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209為多，以下僅就209D及209E跟世界上其它各國制訂標(biāo)準(zhǔn)作介紹與彼此比較。凈化等級(jí)塵粒最大允許數(shù)/立方米≥0.5μm塵粒數(shù),500，≥5μm塵粒數(shù)0，微生物最大允許數(shù)浮游菌/立方米5，沉降菌/皿1。
209E與209D等最大之不同在于209E表示單位增加了公制單位，清潔室等級(jí)以‵M′字頭表示，如M1、M1.5、M2.5、M3….依此類推，配合國際公制單位之標(biāo)準(zhǔn)化，M字母后之阿拉伯?dāng)?shù)量字是以每破方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數(shù)量字以10的冪次方表示，取指數(shù)為之，若微塵粒子數(shù)介于前后二者完全冪次方之間，則以1.5、2.5、3.5….表示。凈化等級(jí)塵粒最大允許數(shù)/立方米≥0.5μm塵粒數(shù),500，≥5μm塵粒數(shù)0，微生物最大允許數(shù)浮游菌/立方米5，沉降菌/皿1。 清潔網(wǎng)z:Wg1pj
美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS 209D都以英制每破方英呎為單位，日本則是采取公制，即以每破方公尺為單位，以0.1μm微粒子為計(jì)數(shù)標(biāo)準(zhǔn)。日本標(biāo)準(zhǔn)之表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，最好的等級(jí)為Class 1，最差則為Class 8，以每破方公尺中微塵粒子總數(shù)中化為10的冪次方，取其指數(shù)而得。

　　(二)清潔室之定義
清潔室(Clean Room)，亦稱為無塵室或清潔室?！　盖鍧嵤摇故侵笇⒁欢臻g范疇內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之沾染物消除，并將室內(nèi)之溫度、清潔度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流散布、噪音振動(dòng)及照明、靜電把持在某一須要范疇內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不管外在之空氣前提如何變更，其室內(nèi)均能俱有堅(jiān)持原來所設(shè)定請求之清潔度、溫濕度及壓力等機(jī)能之特點(diǎn)。
清潔室最重要之作用在于把持產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的清潔度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間咱們稱之為「清潔室」。
　　(三)清潔室控管之名目

　　1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子。

　　2. 能避免微塵粒子之產(chǎn)生。

　　3. 溫度跟濕度之把持。

　　4. 壓力之調(diào)節(jié)。

　　5. 有害氣體之消除。

　　6. 結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性。

　　7. 靜電之防制。

　　8. 電磁煩擾防備。

　　9. 保險(xiǎn)因素之考慮。

　　10. 節(jié)能之考量。凈化等級(jí)塵粒最大允許數(shù)/立方米≥0.5μm塵粒數(shù),500，≥5μm塵粒數(shù)0，微生物最大允許數(shù)浮游菌/立方米5，沉降菌/皿1。