潔凈室的檢測(cè)技巧

核心提示：1。凈化工程指控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此環(huán)境空間的設(shè)計(jì)施工過程即可稱為凈化工程。潔凈車間一個(gè)應(yīng)用行業(yè)非常廣泛的基礎(chǔ)性配套產(chǎn)業(yè)，（21世紀(jì)）在電子信息、半導(dǎo)體、光電子、精密制造、醫(yī)藥衛(wèi)生、生物工程、航天航空、汽車噴涂等眾多行業(yè)均有應(yīng)用，并根據(jù)行業(yè)的精密與無塵要求，等級(jí)差別也較大。無菌車間大部分凈化廠房尤其電子工業(yè)用的潔凈廠房都有嚴(yán)格的恒溫、恒濕的要求，不僅對(duì)廠房?jī)?nèi)的溫、濕度有嚴(yán)格的要求，而且對(duì)溫度和相對(duì)濕度的波動(dòng)范圍也有嚴(yán)格的要求。供氣量和排氣量2.區(qū)域之間的氣流控制3.過濾器泄漏檢測(cè)4.隔離泄漏檢測(cè)5.室內(nèi)氣流控制6.懸浮顆粒濃度和微生物濃度

1。送風(fēng)量和排風(fēng)量：如果是湍流潔凈室，則需要測(cè)量送風(fēng)量和排風(fēng)量。如果是單向流動(dòng)的潔凈室，應(yīng)測(cè)量風(fēng)速。

2、區(qū)與區(qū)之間的氣流控制：為了證明區(qū)與區(qū)之間的氣流方向正確，即從潔凈區(qū)到潔凈差的地區(qū)，必須檢測(cè)：每個(gè)區(qū)間的壓力差是正確的；在門或墻的開口、地板等處，氣流方向是正確的，即從潔凈區(qū)域到潔凈較差的區(qū)域。

3.過濾器泄漏檢測(cè)：檢查高效過濾器及其外框，確保懸浮污染物不會(huì)通過：損壞的過濾器；過濾器與外框之間的間隙；過濾器單元的其他部分進(jìn)入腔室。

4.隔離泄漏檢測(cè)：該測(cè)試用于證明懸浮污染物不會(huì)通過建筑材料滲透到潔凈室。

5。室內(nèi)氣流控制：氣流控制試驗(yàn)的類型取決于潔凈室的氣流流型是湍流的還是單向的。如果潔凈室的氣流是湍流的，則需要確認(rèn)潔凈室內(nèi)沒有氣流不足。如果是單向流潔凈室，必須驗(yàn)證整個(gè)房間的風(fēng)速和風(fēng)向符合設(shè)計(jì)要求。

6、懸浮粒子濃度和微生物濃度：如果上述測(cè)試符合要求，那么最終測(cè)量出粒子濃度和微生物濃度，以確認(rèn)它們符合潔凈室設(shè)計(jì)的技術(shù)條件。