發(fā)布時間：2023-07-16 21:43:32 人氣：14389
濕度過高產(chǎn)生的問題更多。凈化等級塵粒最大允許數(shù)/立方米≥0.5μm塵粒數(shù),500，≥5μm塵粒數(shù)0，微生物最大允許數(shù)浮游菌/立方米5，沉降菌/皿1。絕對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結(jié)露，假如產(chǎn)生在精巧裝置或電路中，就會引起各種事變。絕對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片名義粘著的灰塵化學(xué)吸附在名義耐難以清除。絕對濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)絕對濕度低于30%時，又因為靜電力的作用使粒子也輕易吸附于名義，同時大量半導(dǎo)體器件輕易產(chǎn)生擊穿。對硅片生產(chǎn)最佳溫度范疇為35—45%。
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