潔凈生產(chǎn)環(huán)境(潔凈廠房、潔凈室)先后使用過無塵室、無窗廠房、密閉廠房、空氣懸浮粒子受控的房間等概念。層流手術室手術室是采用空氣潔凈技術對微生物污染采取程度不同的控制，達到控制空間環(huán)境中空氣潔凈度適于各類手術之要求；并提供適宜的溫、濕度，創(chuàng)造一個潔凈舒適的手術空間環(huán)境。由于手術室要嚴格控制低細菌數(shù)及低麻醉氣體濃度，所以層流超凈裝置的穩(wěn)定性是層流凈化手術室的重要驗收指標。手術室凈化確保手術臺潔凈度達標，一般多采用垂直層流式效果較好　層流手術室是一個"正壓"環(huán)境，其空氣壓力根據(jù)其不同區(qū)域（如手術間、無菌準備間、刷手間、麻醉間和周圍干凈區(qū)域等）潔凈度不同要求而不同。潔凈手術室按不同?？疲中g間又可分為普外、骨科、婦產(chǎn)科、腦外科、心胸外科、泌尿外科。燒傷科、五官科等手術間。由于各?？频氖中g往往需要配置專門的設備及器械，因此，?？剖中g的手術間宜相對固定。潔凈廠房的設計建造和使用應做到不引入或少引入微粒,不產(chǎn)生或少產(chǎn)生微粒,不滯留或少滯留微粒。此外,潔凈廠房還對溫度、濕度、壓力等參數(shù)按產(chǎn)品生產(chǎn)要求進行控制。而根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)要求需對潔凈室內的氣流分布、氣流速度以及噪聲、振動、靜電等進行控制?！　?

產(chǎn)品生產(chǎn)促進清潔技術的發(fā)展

隨著科學技術的發(fā)展和產(chǎn)品生產(chǎn)的更新，特別是軍工、電子、航天、生物醫(yī)學等行業(yè)的發(fā)展，國內外清潔技術的發(fā)展也在不斷變化。現(xiàn)代工業(yè)產(chǎn)品和現(xiàn)代科學實驗需要小型化、精密化、高純度、高質量和高可靠性。以小型化為例，計算機已經(jīng)從放置在幾個房間里的巨大單元發(fā)展到今天的便攜式筆記本。同時，它所使用的電子元件也從電子管到半導體分立器件，再到集成電路和大規(guī)模集成電路；集成電路的線寬也從幾微米發(fā)展到今天的45納米。這些新的科技產(chǎn)品要求有嚴格的清潔生產(chǎn)環(huán)境。清潔技術是以產(chǎn)品生產(chǎn)日益嚴格的要求為基礎，對清潔生產(chǎn)環(huán)境中污染物的控制、控制方法和控制設施。

潔凈技術是一門綜合技術,其核心技術包括生產(chǎn)工藝技術及其工藝設計、空氣凈化、潔凈建筑以及各類產(chǎn)品生產(chǎn)所需的專業(yè)技術(如微電子產(chǎn)品生產(chǎn)所需的高純物質高純水、高純氣、高純化學品的相關專業(yè)技術等)。這些專業(yè)技術在潔凈室設計中都是不可缺少的,它們必須密切配合,圍繞著產(chǎn)品生產(chǎn)的需要,相互協(xié)調、統(tǒng)籌安排。潔凈廠房的設計和建造就是要在做好各相關專業(yè)設計的基礎上,做好各項安全設施消防、防火、防爆、安全報警,確保潔凈室的安全運行。與此同時,它還要處理好電源、冷源、熱源等動力供應,節(jié)約能源;安排好各類配管配線,確保各種流體介質的輸送質量,減少材料消耗,方便施工安裝和運行維護?！　?

微電子對清潔技術的新要求

電子產(chǎn)品，特別是微電子產(chǎn)品的生產(chǎn)，取決于清潔技術的發(fā)展，或者說清潔技術的發(fā)展是由微電子產(chǎn)品的升級推動的。

電子產(chǎn)品潔凈室對空氣潔凈度和各種雜質的控制有嚴格的要求。半導體集成電路制造是一項高科技制造技術。它使用高精度機械將物理，化學，電子和機械技術集成到制造過程中。為了獲得高質量和高產(chǎn)量的微電子產(chǎn)品，必須嚴格控制芯片缺陷。