無(wú)塵室各項(xiàng)目檢測(cè)方法匯總

高校過(guò)濾器檢漏

一、說(shuō)明
高效過(guò)濾器的泄漏測(cè)試應(yīng)當(dāng)是無(wú)塵室測(cè)試中，最復(fù)雜、最耗時(shí)間的測(cè)量項(xiàng)目。泄漏測(cè)試的目的，是要確認(rèn)：

1.濾網(wǎng)的材料無(wú)破損.

2.安裝恰當(dāng)。濾網(wǎng)出廠前當(dāng)然要經(jīng)過(guò)泄漏測(cè)試，但是在搬運(yùn)與安裝過(guò)程難保完全無(wú)損，而且濾網(wǎng)的重要性又大于一切，因此安裝完畢都要做一次掃描，以確認(rèn)濾材無(wú)任何泄漏。另外，若是安裝不恰當(dāng)，微粒會(huì)從邊框漏進(jìn)無(wú)塵室風(fēng)口。就算是FFU系統(tǒng)，天花板上是負(fù)壓，若是邊框機(jī)有微粒日后仍舊會(huì)產(chǎn)生問(wèn)題。因此，邊框掃描一樣重要。 濾網(wǎng)泄漏測(cè)試基本上是利用濾網(wǎng)上游的顆粒，然后在濾網(wǎng)下表面與邊框用微粒探測(cè)儀器搜尋有無(wú)泄漏。泄漏測(cè)試有幾種不同的方式，適用在不同的場(chǎng)合。

測(cè)試方式有：1.氣膠光度計(jì)測(cè)試法，2.微粒計(jì)數(shù)器測(cè)試法，3.全效率測(cè)試法，4.外氣測(cè)試法。后兩種現(xiàn)在使用非常少。

二、方法
1111.氣溶膠光度計(jì)測(cè)試法
111氣膠光度計(jì)測(cè)試法是最早期的測(cè)試方式，但是因?yàn)樾Ч浅：?，到今天仍舊沿用。氣膠光度計(jì)（Aerosol Photometer）是微粒計(jì)數(shù)器的一種，也是使用雷射科技，但是它在掃描空氣樣本的微粒之后，所給的是微粒的總體強(qiáng)度，不是微粒數(shù)目。DOP是一種油性化學(xué)物質(zhì)，現(xiàn)改用PAO,加壓或加熱霧化之后，可以產(chǎn)生次微米等級(jí)的微粒，可用來(lái)模擬無(wú)塵室的微粒，因此被當(dāng)成驗(yàn)證微粒。
1112.微粒計(jì)數(shù)器測(cè)試法
111半導(dǎo)體業(yè)方面，早期也是使用DOP/PAO與氣膠光度計(jì)，但是隨著制造精密度增加，油性挑戰(zhàn)微粒逐漸不容許在無(wú)塵室使用，因此出現(xiàn)使用干式灰塵當(dāng)成挑戰(zhàn)微粒，在上游施放，然后用微粒計(jì)數(shù)器在下游掃描，尋找泄漏，基本概念完全相同。經(jīng)過(guò)科學(xué)家一步步研究結(jié)果，發(fā)現(xiàn)PSL因?yàn)槲⒘５牧脚c濃度可以控制，因此是目前最廣為使用的標(biāo)準(zhǔn)微粒。使用時(shí)只要把PSL溶液霧化，導(dǎo)入濾網(wǎng)上游即可

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PAO/DOP過(guò)濾器檢漏

一.說(shuō)明
?1氣膠光度計(jì)測(cè)試法是最早期的測(cè)試方式，但是因?yàn)樾Ч浅：?，到今天仍舊沿用。氣膠光度計(jì)（Aerosol Photometer）是微粒計(jì)數(shù)器的一種，也是使用雷射科技，但是它在掃描空氣樣本的微粒之后，所給的是微粒的總體強(qiáng)度，不是微粒數(shù)目。DOP是一種油性化學(xué)物質(zhì)，加壓或加熱霧化之后，可以產(chǎn)生次微米等級(jí)的微粒，可用來(lái)仿真無(wú)塵室的微粒，因此被當(dāng)成驗(yàn)證微粒。
?1泄漏的定義是泄漏出上游濃度萬(wàn)分之一，由于氣膠光度計(jì)可以直接顯示上下游微粒濃度的比值，因此掃描濾網(wǎng)非常方便。也正因其準(zhǔn)確、可靠，美國(guó)食品與藥品管制局（FDA）規(guī)定，在其管轄范圍內(nèi)（食品加工場(chǎng)所與醫(yī)療制藥場(chǎng)所），所有的濾網(wǎng)泄漏測(cè)試必須使用DOP與氣膠光度計(jì)。近年來(lái)由于人們懷疑DOP會(huì)導(dǎo)致癌癥，因此多改用PAO。PAO和DOP的特性類似，使用上無(wú)多大差異。

二.測(cè)試儀器
?1本測(cè)試法使用儀器為氣膠光度計(jì)（Aerosol Photometer）與微粒產(chǎn)生器（Aerosol Generator）。氣膠光度計(jì)的顯示版有模擬與數(shù)字兩種，每年必須校正一次。微粒產(chǎn)生器有兩種，一種是普通的微粒產(chǎn)生器，只要求高壓空氣，另一種是加熱型微粒產(chǎn)生器，要高壓空氣和電源，微粒產(chǎn)生器不需要校正。?

三.測(cè)試方式?
1111濾網(wǎng)泄漏測(cè)試的步驟，大致上是施放微粒并檢查濃度、濾網(wǎng)與邊框掃描以發(fā)現(xiàn)泄漏、更換或修補(bǔ)、重測(cè)，其步驟說(shuō)明如下
1111.在圖面上記錄濾網(wǎng)數(shù)量并編號(hào)。
1112.確定空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)轉(zhuǎn)并可供測(cè)試，風(fēng)速與風(fēng)量必需調(diào)整平衡完畢。
1113.使用氣膠產(chǎn)生器在上游施放挑戰(zhàn)微粒，將PAO打入濾網(wǎng)上游，微粒濃度是大約每公升空氣含有10到20微克的PAO。微粒愈多 愈容易找出泄漏，但是超過(guò)50微克以后差別不大，少于10則很難使用。微粒濃度可用風(fēng)量粗略計(jì)算，再用氣膠光度計(jì)確認(rèn)。
1114.上游微粒濃度確認(rèn)后，就可以在濾網(wǎng)表面掃描，尋找泄漏，必要時(shí)濾網(wǎng)四周可用塑料簾覆蓋以確保測(cè)試之準(zhǔn)確
1115.在濾網(wǎng)表面掃描，掃描之路徑可由外而內(nèi)或沿長(zhǎng)/短邊迂回檢測(cè).

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潔凈度測(cè)試

一、說(shuō)明
1111潔凈度測(cè)試是無(wú)塵室性能測(cè)試的核心，氣流測(cè)試、壓力測(cè)試，與泄漏測(cè)試，都只在確認(rèn)無(wú)塵室的潔凈度不受外來(lái)影響，因此潔凈度測(cè)試都放在前述幾項(xiàng)測(cè)試都通過(guò)之后。潔凈度測(cè)試完畢，與落塵有關(guān)的性能因素就都測(cè)試完畢，其它測(cè)試對(duì)潔凈度影響不大，或是屬于其它環(huán)境測(cè)試。

二、測(cè)試儀器
1111潔凈度測(cè)試使用微粒計(jì)數(shù)器，儀器須經(jīng)校正合格且仍在有效期限內(nèi)，交附報(bào)告時(shí)須附合格之校正文件。微粒計(jì)數(shù)器有不同規(guī)格，最常見(jiàn)的是流量1cfm，最小粒徑可測(cè)到0.3mm或是0.1mm，單位多是立方英?。至于應(yīng)使用何種設(shè)備，要依業(yè)主的規(guī)范而定。一般在產(chǎn)業(yè)界，多依以下方式選擇微粒計(jì)數(shù)器。
1111Class 1000或更高：0.5μm??
? 11Class 100：0.3μm，0.5um
? 11Class 1到Class 10：0.1μm
若是業(yè)主要求的粒徑范圍超過(guò)單一微粒計(jì)數(shù)器的范圍，則應(yīng)該使用兩部微粒計(jì)數(shù)器。目前市面上少見(jiàn)立方公尺的微粒計(jì)數(shù)器，因此若是無(wú)塵室的潔凈度是以ISO為基準(zhǔn)，則要把結(jié)果作換算。單位換算，不影響上限的計(jì)算程序。?

三、測(cè)試步驟：?
1111(1)確定空調(diào)系統(tǒng)之測(cè)試調(diào)整與平衡已完成，濾網(wǎng)之風(fēng)速及泄漏測(cè)試均已完成，并已修換破損部分。
1111(2)確認(rèn)測(cè)試位置與測(cè)試點(diǎn)數(shù)。
1111(3)取樣時(shí)間：每點(diǎn)的取樣時(shí)間依照等級(jí)與粒徑不同而異，若取樣時(shí)間小于一分鐘，則以一分鐘為準(zhǔn)。
111(4)測(cè)試位置應(yīng)均勻分布在無(wú)塵室內(nèi)，避免在產(chǎn)生大量粒子之附近，且將檢測(cè)儀器以適當(dāng)之架臺(tái)支撐，不可以手持支撐。
111(5)測(cè)量點(diǎn)數(shù)以公式計(jì)算（與209E相同）。

四、驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)：
1111潔凈度的驗(yàn)收基準(zhǔn)有二，首先是每點(diǎn)的微粒測(cè)量平均值必須低于規(guī)定值。潔凈度的第二個(gè)驗(yàn)收基準(zhǔn)就是，任一隔間若需使用信賴度上限分析，則該分析值也必須小于規(guī)定值。??

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風(fēng)速及平衡性測(cè)試

一、測(cè)試目的
1111氣流是控制潔凈度與溫濕度的最主要因素，它對(duì)噪音也有一些影響。因此風(fēng)速測(cè)量，都是放在無(wú)塵室測(cè)試的第一步。風(fēng)速測(cè)量的目的，是確認(rèn)濾網(wǎng)送出的氣流滿足設(shè)計(jì)規(guī)范，其次是確認(rèn)氣流的均勻度。在某些場(chǎng)合可能因現(xiàn)場(chǎng)的限制，室內(nèi)換氣量還必須用風(fēng)速乘以出口面積來(lái)?yè)Q算。
1111單一流向型無(wú)塵室，很多都是設(shè)計(jì)成垂直層流，因此風(fēng)速均勻度非常重要，只有均勻的垂直層流，才能有效排除微粒污染。非單一流向型無(wú)塵室，由于微粒控制的觀念是稀釋，不是立即排除，一般而言其換氣量遠(yuǎn)比風(fēng)速重要。但是需注明是濾網(wǎng)風(fēng)速測(cè)量或是無(wú)塵室室內(nèi)風(fēng)速測(cè)量。

二、 使用儀器
1111無(wú)塵室里面使用的HEPA/ULPA濾網(wǎng)，其送出氣流的速度多半都控制在0.5m/s以內(nèi)，因此所使用的風(fēng)速計(jì)必須是低速型。濾網(wǎng)風(fēng)速測(cè)量可使用單點(diǎn)式風(fēng)速計(jì)如電子式壓力計(jì)配合皮氏管、熱線式風(fēng)速計(jì)。也可以使用多點(diǎn)式風(fēng)速計(jì)如Shortridge Velgrid 16點(diǎn)風(fēng)速計(jì)。輪葉式風(fēng)速計(jì)因使用范圍不同，通常不在無(wú)塵室內(nèi)使用。熱線式風(fēng)速計(jì)（Hot Wire）雖然高頻響應(yīng)良好，但是低速時(shí) 〈0.5m/s以下〉 準(zhǔn)確性很低，因此不很適用，一般熱反應(yīng)風(fēng)速計(jì)常用的是Thermeister式風(fēng)速計(jì)。轉(zhuǎn)輪式風(fēng)速計(jì)由于本身重量問(wèn)題，也不適用低速。檢驗(yàn)儀器須經(jīng)校正合格，且仍在有效期限內(nèi)。

三、 測(cè)試步驟
111(1)在圖面上記錄濾網(wǎng)尺寸、數(shù)量并編號(hào)。(2)取樣點(diǎn)位于濾網(wǎng)下方75-150mm處。(3)每一個(gè)濾網(wǎng)下，若是使用單點(diǎn)式風(fēng)速計(jì)，則每1平方英尺取一點(diǎn)；若是使用多點(diǎn)式風(fēng)速計(jì)，則每4平方英尺取一點(diǎn)。(4)每測(cè)量點(diǎn)必須取5秒的平均。(5)依驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)分析所有風(fēng)速，計(jì)算平均值、標(biāo)準(zhǔn)差、相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)差，并標(biāo)明不合格測(cè)試點(diǎn)。(6)記錄所有原始數(shù)值，以及分析后的數(shù)值。重要的是在非單一流向型無(wú)塵室測(cè)試時(shí)，特別注意取樣時(shí)風(fēng)速計(jì)不可受到干擾，以免影響準(zhǔn)確度。

四、數(shù)據(jù)分析
1111風(fēng)速測(cè)量很簡(jiǎn)單，但是均勻度必須由數(shù)據(jù)分析來(lái)判定。均勻度是由相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)差來(lái)代表，其計(jì)算步驟如下。
11111.平均值：2.標(biāo)準(zhǔn)差??

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風(fēng)量及平衡性測(cè)試

一、說(shuō)明
1111風(fēng)量測(cè)量的目的通常是用來(lái)計(jì)算換氣量，一般是在非單一流向型無(wú)塵室，或是測(cè)量空調(diào)系統(tǒng)中各式各樣的出風(fēng)口、回風(fēng)口、排氣口等的風(fēng)量時(shí)使用。只有在無(wú)法使用氣罩的場(chǎng)合（氣罩體積較大，有時(shí)會(huì)受限制），才能使用風(fēng)速乘以面積等于風(fēng)量的方式，用風(fēng)速來(lái)?yè)Q算風(fēng)量。使用風(fēng)速換算風(fēng)量時(shí)，須注意出風(fēng)口之有效面積以及修正系數(shù)的取得。在回風(fēng)口和排氣口，使用換算法的準(zhǔn)確度非常差，應(yīng)盡量避免。同樣氣罩通?？梢詼y(cè)量送風(fēng)與回風(fēng)，正值代表送風(fēng)，負(fù)值代表回風(fēng)或排氣。須注意的是反向測(cè)量時(shí)，其測(cè)量范圍通常會(huì)降低。?

二、測(cè)試儀器
1111風(fēng)量測(cè)量應(yīng)當(dāng)使用氣罩（Flow Measuring Hood），氣罩的測(cè)量范圍是15~2500 cfm，精確度要求為讀數(shù)的±3%。由于氣罩本身會(huì)產(chǎn)生壓損，因此其形狀很重要，應(yīng)盡量使用原廠氣罩。若有必要自行制造罩子，應(yīng)注意氣流順暢并且做詳細(xì)比對(duì)。氣罩的校正非常重要，必須主機(jī)連同罩子一起校正，才能得到準(zhǔn)確校正值。檢驗(yàn)時(shí)必須使用校正合格且仍在有效期限的儀器，于正式檢測(cè)前及繳交報(bào)告時(shí)均須檢附合格之校正文件。

三、測(cè)試步驟：
? 11(1)在圖面上記錄濾網(wǎng)尺寸、數(shù)量并編號(hào)。(2)使用恰當(dāng)尺寸氣罩將出風(fēng)口完全罩住，然后測(cè)量與計(jì)錄。(3)依驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)分析所有風(fēng)量，計(jì)算平均值、標(biāo)準(zhǔn)差、相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)差，并標(biāo)明不合格測(cè)試點(diǎn)。(4)記錄所有原始數(shù)值，以及分析后的數(shù)值。?

四、 數(shù)據(jù)分析：
1111風(fēng)量均勻度的計(jì)算與風(fēng)速向同，都是由相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)差來(lái)代表，其計(jì)算步驟如下。?
1111.平均值：將所有風(fēng)測(cè)量量值取算數(shù)平均???2.標(biāo)準(zhǔn)差：計(jì)算所有風(fēng)測(cè)量量值的標(biāo)準(zhǔn)差

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壓差測(cè)試

一、說(shuō)明
1111壓力測(cè)量的目的是確認(rèn)無(wú)塵室空調(diào)系統(tǒng)的壓力設(shè)定。無(wú)塵室內(nèi)維持相當(dāng)?shù)恼龎阂跃S持潔凈度，這已經(jīng)是個(gè)common sense，在209的舊版本中，正壓有建議值，但是后來(lái)就取消了。目前常見(jiàn)的正壓值約是10到25 Pascal之間。壓力測(cè)量的時(shí)機(jī)，應(yīng)該是在風(fēng)速、風(fēng)量、平行度等與氣流直接相關(guān)的測(cè)試結(jié)束之后立即測(cè)量，尤其不可在潔凈度測(cè)量完畢之后才測(cè)量壓力。因?yàn)槿绻麎毫Σ粚?duì)，要立刻調(diào)整以免影響潔凈度。測(cè)量時(shí)，所有門(mén)窗都必須關(guān)上，所有的風(fēng)扇也必須維持正常運(yùn)轉(zhuǎn)。

二、測(cè)試儀器
111壓力測(cè)量可使用傾斜管壓力計(jì)，指針式壓力計(jì)，或是電子式壓力計(jì)，總之只要測(cè)量范圍與精確度滿足要求即可。壓力計(jì)之精確度要求為讀數(shù)的±5%，測(cè)量范圍式壓力設(shè)計(jì)值而定，一般0~5mm Aq（0?50 Pascal）即可涵蓋室內(nèi)外壓力差之測(cè)量。儀器需經(jīng)校正合格且仍在有效期限內(nèi)之才可以使用，檢測(cè)前及交附報(bào)告時(shí)均須檢附合格之校正文件。?

三、測(cè)試步驟
1111.必須在風(fēng)速、風(fēng)量、氣流等測(cè)試完成后，才能測(cè)試壓力，并且排氣與MAU要完全正常運(yùn)轉(zhuǎn)。
1112.全部門(mén)與開(kāi)口都要關(guān)閉。室外大氣壓力假設(shè)為0.0mmAq表壓力。
1113.測(cè)定潔凈區(qū)域與相鄰較次級(jí)潔凈區(qū)域之壓差，再測(cè)量房間與Gowning room之間壓差，最后測(cè)量Gowning room與外部之壓差。
1114.建議壓差值為5~12Pa，并無(wú)強(qiáng)制規(guī)定。
1115.記錄所有數(shù)值。??

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溫濕度檢測(cè)

一、說(shuō)明
111溫濕度測(cè)量的目的是確認(rèn)室內(nèi)之溫濕度控制在范圍之內(nèi)，溫濕度對(duì)微?？刂茮](méi)有甚么影響，因此溫濕度測(cè)試屬于第三級(jí)測(cè)試（Level 3）。但是因無(wú)塵室多半同時(shí)也是環(huán)控室，所以溫濕度常常就一并測(cè)量了。溫濕度測(cè)量又分為一般測(cè)量和進(jìn)階測(cè)量（General Tests and Comprehensive Tests），一般測(cè)量只是測(cè)量溫濕度在測(cè)量點(diǎn)的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)（單一測(cè)數(shù)據(jù)），適用在對(duì)溫濕度要求不高的場(chǎng)所。進(jìn)階測(cè)量就要紀(jì)錄在測(cè)量點(diǎn)一段長(zhǎng)時(shí)間的溫濕度，目的是要觀察溫濕度隨時(shí)間的變化情形，以確認(rèn)濕度在控制之下。進(jìn)階測(cè)量適用在對(duì)溫濕度要求比較高的場(chǎng)所。

二、測(cè)試儀器：
111常見(jiàn)的溫濕度儀器是電子式溫度計(jì)與鏡面冷凝光學(xué)式濕度計(jì)，一般測(cè)量和進(jìn)階測(cè)量使用儀器的精度相同，溫度測(cè)量范圍是0-100 ℃，精確是±0.2 ℃。濕度測(cè)量范圍是10? 到95? ，精確度是±2? 。一般測(cè)量要求溫度之顯示值可顯示0.1 ℃的變化，濕度的顯示值可顯示1? 的變化。進(jìn)階測(cè)量則要求溫度之顯示值可顯示0.05 ℃的變化，濕的顯示值可顯示0.1? 的變化。檢測(cè)儀器需校正合格且仍在有效期限內(nèi)者，于測(cè)試前或交附報(bào)告時(shí)均須檢附合格之校正文件。

三、測(cè)試程序：
1111.確認(rèn)空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)安裝完成，并已完成測(cè)試、調(diào)整、平衡?？照{(diào)系統(tǒng)測(cè)試、調(diào)整、平衡可以平衡風(fēng)量和水量，使其達(dá)到設(shè)計(jì)要求，為溫濕控制提供正確的運(yùn)轉(zhuǎn)環(huán)境，因此系統(tǒng)要先平衡才能測(cè)試。
1112.依據(jù)平面圖，列出各種溫濕度要求區(qū)域，并使系統(tǒng)達(dá)到正常運(yùn)轉(zhuǎn)狀況，系統(tǒng)應(yīng)在溫濕度自動(dòng)控制之下，至少運(yùn)轉(zhuǎn)24小時(shí)以上。
1113.測(cè)試點(diǎn)數(shù)為每個(gè)房間至少量一點(diǎn)，并且每個(gè)溫濕度控制區(qū)至少量一點(diǎn)，例如每個(gè)Dry Coil的控制范圍要量一點(diǎn)，測(cè)量高度為(高架)地板上1.00m。
1114.將溫濕度傳感器放置同一位置，待穩(wěn)定后開(kāi)始記錄。

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光照度測(cè)試

一、測(cè)前準(zhǔn)備
潔凈室所有開(kāi)孔皆需封閉氣密處理完成
測(cè)試前空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)已完成測(cè)試、調(diào)整、平衡，并已連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)24小時(shí)以上。
潔凈室環(huán)境需清潔完成

二、測(cè)試目的
此檢測(cè)動(dòng)作在于確認(rèn)無(wú)塵室照明系統(tǒng)是否有達(dá)到設(shè)計(jì)要求。

三、測(cè)試儀器
專業(yè)照度儀

四、測(cè)試步驟
無(wú)塵室光源至少使用100小時(shí)以上，測(cè)試前需點(diǎn)亮2小時(shí)以上。
確認(rèn)測(cè)試點(diǎn)及配置圖編號(hào)。
將照度儀固定置于距離地板上1.2m高度，待數(shù)值穩(wěn)定后量測(cè)10秒記錄。??

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噪音度測(cè)試

一、檢測(cè)準(zhǔn)備
竣工圖面（初版）與相關(guān)規(guī)范確認(rèn)
所有開(kāi)孔皆需封閉氣密處理完成。
測(cè)試前空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)已完成測(cè)試、調(diào)整、平衡，并已連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)24小時(shí)以上。
潔凈室環(huán)境需清潔完成。

二、測(cè)試目的
此檢測(cè)動(dòng)作在于確認(rèn)無(wú)塵室噪音是否有達(dá)到設(shè)計(jì)要求。

三、測(cè)試儀器
專業(yè)噪音儀

四、測(cè)試位置
每40m2取1點(diǎn)為量測(cè)點(diǎn)，另針對(duì)業(yè)主要求局部增加測(cè)試點(diǎn)數(shù)。

五、測(cè)試步驟：
a.無(wú)塵室所有空調(diào)設(shè)備及公用設(shè)備均為運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)。
b.確認(rèn)測(cè)試點(diǎn)及配置圖編號(hào)。
c.將照度儀固定置于距離地板上1.2m高度，高度量測(cè)10秒后記錄最大值。

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氣流流向檢測(cè)

一、測(cè)試目的
平行度測(cè)量的目的，是觀察在工作區(qū)域里面氣流的運(yùn)動(dòng)模式，同時(shí)也可以觀察儀器設(shè)備對(duì)氣流的影響。平行度測(cè)量應(yīng)該在氣流的風(fēng)速與均勻度都測(cè)試完畢且通過(guò)之后進(jìn)行，過(guò)早進(jìn)行可能得不到正確的數(shù)據(jù)。

二、測(cè)試方法
一般而言平行度的測(cè)量，是由肉眼觀察所決定。使用的工具包括煙霧、水霧、PFA、和輕質(zhì)棉線。。煙霧或水霧的共同優(yōu)點(diǎn)是只要粒子夠小，煙霧可隨風(fēng)飄揚(yáng)，可正確的反映氣流運(yùn)動(dòng)模式。但是其共同問(wèn)題是滯空性不足，觀測(cè)時(shí)間太短。測(cè)量平行度需要花一些時(shí)間，因此需要大量煙霧或水霧，對(duì)無(wú)塵室可能造成污染。另一種方式是使用輕質(zhì)細(xì)線，讓細(xì)線隨風(fēng)飄舞，然后測(cè)量氣流平行度。在無(wú)塵室內(nèi)普遍使用新的高分子材料Flo-Viz，是用尼龍抽成單絲所制成，由于質(zhì)量很輕因此適合作無(wú)塵室平行度測(cè)量。測(cè)量平行度的方法是立一根鉛垂線，然后在濾網(wǎng)下方施放煙霧或是安放細(xì)線，之后觀察所施放煙霧與鉛垂線的夾角，或是測(cè)量細(xì)線與鉛垂線的夾角，就可決定氣流的平行度。

三、測(cè)試儀器
支架2.鉛垂線3.Flo-Viz細(xì)線4 .氣流流向檢測(cè)儀

四、測(cè)試步驟
用支架設(shè)立垂線作為基準(zhǔn)線。2.將細(xì)線在室內(nèi)懸吊，使其自然下垂，細(xì)線會(huì)隨空氣流向飄移。計(jì)算偏移角=tan-1(懸吊線?移量/1220)。6.每3m×3m區(qū)域量1點(diǎn)。若是使用煙霧，其方式很類似，就是在濾網(wǎng)下施放煙霧，然后將鉛垂線的上端點(diǎn)移動(dòng)到與煙霧相接觸，將紅線當(dāng)成煙霧，再計(jì)算夾角就可以了。??

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地板導(dǎo)電檢測(cè)

一、測(cè)試介紹
導(dǎo)電度可視為電流流經(jīng)或繞過(guò)某物體之容易程度(relative ease)，電阻的倒數(shù)即導(dǎo)電度

二.、測(cè)量目的
測(cè)量地板上點(diǎn)與點(diǎn)之間(Floor Point to Point)的電阻，和地板與大地間(Floor to Ground)的電 阻

三、Point to Point檢測(cè)過(guò)程
溫濕度需已經(jīng)測(cè)試調(diào)整合格
每組數(shù)據(jù)需使用兩個(gè)電極
電阻計(jì)之開(kāi)路電壓為500奧姆，內(nèi)阻至少100000奧姆
每個(gè)無(wú)塵室至少量5組數(shù)據(jù)，取平均值

四、Floor to Ground?檢測(cè)過(guò)程
1.這是測(cè)量無(wú)塵室地板與接地電極間，導(dǎo)電性的強(qiáng)度。
2.溫濕度需已經(jīng)測(cè)試調(diào)整合格
3.電阻計(jì)兩端的電極，一個(gè)接在地板上，另一個(gè)連在最接近的建筑物柱子上
4.測(cè)量位置由Owner指定，應(yīng)有20個(gè)位置4.5
5.每位置取不同的5點(diǎn)測(cè)量，再取平均值5.平均之電阻應(yīng)小于一百萬(wàn)歐姆
6.所有的原始數(shù)據(jù)與平均值都需表列于報(bào)告中?

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自凈能力檢測(cè)

一、測(cè)試目的
確認(rèn)在無(wú)塵室釋放顆粒后，測(cè)量在多少時(shí)間內(nèi)能恢復(fù)到釋放之前的潔凈水平。

二、測(cè)試儀器
顆粒測(cè)試儀（品牌MET ONE），型號(hào)：3313、2100、顆粒釋放器。

三、測(cè)試位置
任意抽取測(cè)量點(diǎn)，也可與相關(guān)人員共同確認(rèn)測(cè)試點(diǎn)。

四、測(cè)試步驟
1 .在測(cè)試開(kāi)始之前要保證凈房空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)轉(zhuǎn)24以上，讓潔凈環(huán)境達(dá)到一個(gè)穩(wěn)定的水平。
2.在抽取的測(cè)量點(diǎn)放好顆粒計(jì)數(shù)器，先做顆粒潔凈度測(cè)試，記錄該房間每立方英尺體積的空氣中含有的0.3um顆粒數(shù)量，連續(xù)測(cè)試數(shù)分鐘，待取一個(gè)穩(wěn)定的數(shù)據(jù)，此時(shí)，再將該房間的整個(gè)空調(diào)系統(tǒng)全部斷電。
3.在該房間內(nèi)釋放顆粒，使于外界非潔凈區(qū)域的顆粒自使整個(gè)潔凈室0.3um的顆粒濃度達(dá)到之前濃度的10或100倍。此時(shí)再啟動(dòng)空調(diào)系統(tǒng)，使其正常運(yùn)行，測(cè)試該潔凈室內(nèi)顆粒濃度恢復(fù)到之前水平所需要的時(shí)間?

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靜電檢測(cè)

一、測(cè)試目的
靜電問(wèn)題不是只有半導(dǎo)體業(yè)才有，其它行業(yè)也有類似問(wèn)題。微小物質(zhì)上若是含有靜電，就會(huì)變成非常難處理的問(wèn)題，因?yàn)閭鬏斪兊暮懿蝗菀?。另外在里面，若是物體表面帶有靜電，就很容易吸引灰塵造成污染。靜電測(cè)試的目地是測(cè)量空氣中正離子與負(fù)離子的含量，依此數(shù)據(jù)可仿真物體在該氣流場(chǎng)中之殘余表面電壓。

二、 測(cè)試程序
1.于無(wú)塵室內(nèi)離地32英?(813 mm)處，測(cè)量該位置之空氣中正離子與負(fù)離子的含量，單位是每立方厘米離子數(shù)。測(cè)量點(diǎn)數(shù)：10個(gè)，或由業(yè)主自己決定。
2.在同一位置做殘余電壓測(cè)試。??