無塵車間的溫度試驗包括功能溫度試驗和一般溫度試驗。無塵室凈化工程中各級空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應(yīng)采用初效、中效、高效空氣過濾器三級過濾。100000級空氣凈化處理，可采用亞高效空氣過濾器代高效空氣過濾器。無塵車間目前級別最高的當(dāng)屬航天航空的航空倉，基本是屬于1級，屬于特殊領(lǐng)域，面積相對較小。另外對級別要求較高的是生化實驗室和高精納米材料生產(chǎn)車間，物聯(lián)網(wǎng)芯片的發(fā)展將是未來需求的一大方向。凈化工程指控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此環(huán)境空間的設(shè)計施工過程即可稱為凈化工程。功能溫度測試主要用于無塵車間需要嚴(yán)格控制溫度精度或施工人員需要靜態(tài)或動態(tài)測試時，一般溫度測試主要用于空氣溫度測試。

在無塵車間的功能溫度測試中，應(yīng)將潔凈區(qū)域劃分為等面積網(wǎng)格，每個網(wǎng)格面積不得超過100平方米，或與施工方協(xié)商確定，每個網(wǎng)格測量點應(yīng)大于1，每個房間至少應(yīng)有2個測量點。試驗高度應(yīng)為工作面高度、頂棚距離、墻體及地面不小于300 mm，并應(yīng)考慮熱源的影響。測量時間應(yīng)至少為1H，6 min應(yīng)至少測量一次。讀數(shù)穩(wěn)定后，應(yīng)記錄下來。無塵車間一般溫度測試的測點，各溫度控制區(qū)或每個房間內(nèi)的一個測點，測點高度應(yīng)為工作面高度，測量時間至少為1H，測量6 min應(yīng)至少測量一次。讀數(shù)穩(wěn)定后，應(yīng)記錄下來。

無塵車間濕度測試：濕度測試可通風(fēng)干濕球濕度計，電容式濕度計，數(shù)字濕度計，發(fā)型濕度儀。