凈化車間如何防止微粒污染？應遵守以下四項基本原則：

一、不攜入

在潔凈室中不攜帶顆粒的方法是：

1）操作人員進入潔凈車間前，應先將機器平臺和零件清洗干凈，方可進入。無塵室凈化工程中各級空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應采用初效、中效、高效空氣過濾器三級過濾。100000級空氣凈化處理，可采用亞高效空氣過濾器代高效空氣過濾器。無塵車間目前級別最高的當屬航天航空的航空倉，基本是屬于1級，屬于特殊領(lǐng)域，面積相對較小。另外對級別要求較高的是生化實驗室和高精納米材料生產(chǎn)車間，物聯(lián)網(wǎng)芯片的發(fā)展將是未來需求的一大方向。無菌車間大部分凈化廠房尤其電子工業(yè)用的潔凈廠房都有嚴格的恒溫、恒濕的要求，不僅對廠房內(nèi)的溫、濕度有嚴格的要求，而且對溫度和相對濕度的波動范圍也有嚴格的要求。

2）進入潔凈工場的人士，必須穿著無塵的衣服、帽子、鞋子、手套、口罩等，配以不造成灰塵、更衣室內(nèi)不產(chǎn)生靜電的特殊導電纖維材料。

(3)在進入潔凈車間前，可通過高速潔凈空氣將附著在衣物表面的顆粒去除。

4）在機器和材料進入潔凈車間之前，應盡可能將它們帶入潔凈室前室，然后在風淋室潔凈后用超純水清洗。

5）潔凈車間應將封閉式安全帽和帶過濾器的小風扇一直戴在腰間。

二、不制造

在控制最大污染源----凈化車間顆粒排放的粉塵量方面，還必須控制第二大污染源制造機器排放的粉塵量。當物品在移動時，所產(chǎn)生的摩擦和接觸剝離會造成灰塵，而該物品在移動時也會發(fā)生。因此，為了將粉塵量控制在最低限度，應采取以下反措施：

1)減少接觸剝落粉塵的作用形式；

2）使用磨損和灰塵少的材料;

3）使用粉塵少的潤滑油；

4）不接觸工作原理在應用氣壓浮選。

三、不儲備

如果能充分實施這項技術(shù)，就可以保持潔凈室的潔凈。然而，在現(xiàn)實中，由于人員、物品的頻繁進出和制造機械的限制，大型清洗車間不可能實現(xiàn)完全的潔凈。因此，在過濾器中快速應用該技術(shù)以去除已經(jīng)發(fā)生的粒子是非常重要的。通常，根據(jù)重力和靜電吸附力，已經(jīng)發(fā)生的粒子會停留在周圍物體的表面。突然的振動和不穩(wěn)定的氣流會導致這些積聚的粒子在空氣中再次上升，增加了主要微粒污染的風險。

在最高級別的潔凈車間，從天花板到地面，完全去除顆粒的空氣必須以0.3-0.4米/秒的速度垂直向下流動。這是通過在大約10秒內(nèi)完全交換室內(nèi)空氣和完全過濾的空氣而計算出的值。同時，空氣流動也必須有精確的控制。特別是，必須確保氣流的流動路徑暢通無阻，因為如果循環(huán)路徑中存在障礙物，則容易產(chǎn)生空氣渦流以形成空氣的截留區(qū)域，從而使得微粒在附近發(fā)生的事情很長時間都不能在潔凈車間迅速消除和漂移。其中一些會粘附在外圍設備的表面并造成污染。

控制氣流可以防止顆粒堆積，但不能防止帶電表面的顆粒堆積。