無(wú)塵車間的溫度試驗(yàn)包括功能溫度試驗(yàn)和一般溫度試驗(yàn)。無(wú)塵室凈化工程中各級(jí)空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應(yīng)采用初效、中效、高效空氣過(guò)濾器三級(jí)過(guò)濾。100000級(jí)空氣凈化處理，可采用亞高效空氣過(guò)濾器代高效空氣過(guò)濾器。無(wú)塵車間目前級(jí)別最高的當(dāng)屬航天航空的航空倉(cāng)，基本是屬于1級(jí)，屬于特殊領(lǐng)域，面積相對(duì)較小。另外對(duì)級(jí)別要求較高的是生化實(shí)驗(yàn)室和高精納米材料生產(chǎn)車間，物聯(lián)網(wǎng)芯片的發(fā)展將是未來(lái)需求的一大方向。凈化工程指控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此環(huán)境空間的設(shè)計(jì)施工過(guò)程即可稱為凈化工程。功能溫度測(cè)試主要用于無(wú)塵車間需要嚴(yán)格控制溫度精度或施工人員需要靜態(tài)或動(dòng)態(tài)測(cè)試時(shí)，一般溫度測(cè)試主要用于空氣溫度測(cè)試。

在無(wú)塵車間的功能溫度測(cè)試中，應(yīng)將潔凈區(qū)域劃分為等面積網(wǎng)格，每個(gè)網(wǎng)格面積不得超過(guò)100平方米，或與施工方協(xié)商確定，每個(gè)網(wǎng)格測(cè)量點(diǎn)應(yīng)大于1，每個(gè)房間至少應(yīng)有2個(gè)測(cè)量點(diǎn)。試驗(yàn)高度應(yīng)為工作面高度、頂棚距離、墻體及地面不小于300 mm，并應(yīng)考慮熱源的影響。測(cè)量時(shí)間應(yīng)至少為1H，6 min應(yīng)至少測(cè)量一次。讀數(shù)穩(wěn)定后，應(yīng)記錄下來(lái)。無(wú)塵車間一般溫度測(cè)試的測(cè)點(diǎn)，各溫度控制區(qū)或每個(gè)房間內(nèi)的一個(gè)測(cè)點(diǎn)，測(cè)點(diǎn)高度應(yīng)為工作面高度，測(cè)量時(shí)間至少為1H，測(cè)量6 min應(yīng)至少測(cè)量一次。讀數(shù)穩(wěn)定后，應(yīng)記錄下來(lái)。

無(wú)塵車間濕度測(cè)試：濕度測(cè)試可通風(fēng)干濕球濕度計(jì)，電容式濕度計(jì)，數(shù)字濕度計(jì)，發(fā)型濕度儀。