潔凈室系統(tǒng)竣工性能測(cè)試及單項(xiàng)系統(tǒng)測(cè)試準(zhǔn)則

一．FFU泄漏(filter??leakage)測(cè)試?

1.?先啟動(dòng)待測(cè)試之FFU,并調(diào)整其風(fēng)量維持在設(shè)計(jì)范圍內(nèi)?

2.?Particle?counter?所附之探測(cè)棒須空氣過(guò)濾器下方5cm以1.5cm速度沿空氣過(guò)濾器出風(fēng)面作有規(guī)律掃描。

3.?每HEPA?或ULPA之出風(fēng)表面均須測(cè)試。

4.?若測(cè)得其Particle超過(guò)其要求Filter之規(guī)定或出現(xiàn)相關(guān)之不允許Particle則說(shuō)明該FFU有泄露，破壞之處須以silicon來(lái)修補(bǔ)。

二．FFU風(fēng)速（air??flow??velocity）測(cè)試?

1.?可分層流區(qū)及非層流區(qū)來(lái)測(cè)試。

2.?須對(duì)每片filter?測(cè)量及測(cè)試不少于5個(gè)點(diǎn)求其平均風(fēng)速值。（其四角和中心區(qū)域各測(cè)試一處）

3.?測(cè)量高度為1.2米或1.5米的假定工作面。

4.?層流區(qū)平均風(fēng)速須達(dá)到0.35m/s+_20%,非層流區(qū)平均風(fēng)無(wú)須達(dá)到0.45m/s+_20%.

三．FFU氣流平行度(air??flow??parallelism)測(cè)試?

1.?本項(xiàng)目?jī)H對(duì)全面層流區(qū)實(shí)施

2.?依高架地面或地面上方1.2米或1.5米處之絲線偏離以計(jì)算之偏離角度。

3.?偏離角度不得大于14度。

四．潔凈度（Air??borne??particle??count）測(cè)試?

1.?測(cè)試前須先確定潔凈室內(nèi)所有工程均已完成并已經(jīng)正常運(yùn)轉(zhuǎn)。

2.?測(cè)量高度為1.2米或1.5米的假定工作面或由業(yè)主與承商共同協(xié)商定之。

3.?測(cè)試點(diǎn)數(shù)不少于潔凈室之面積的平方根個(gè)或由業(yè)主與承商共同協(xié)商定之。

4.?測(cè)量器具為粒子計(jì)數(shù)器（particle??counter）

五．室內(nèi)壓力（Room??pressurization）測(cè)試?

1.?利用微壓差計(jì)由最內(nèi)房間向外逐一測(cè)試。

2.?測(cè)試前確保潔凈室之所有門窗等為關(guān)閉狀態(tài)。

3.?每房間至少測(cè)試一點(diǎn)。

4.?測(cè)量高度為1.2米或1.5米的假定工作面或由業(yè)主與承商共同協(xié)商定之。

六．溫濕度測(cè)試?

1.?利用溫濕度計(jì)測(cè)試測(cè)試前確認(rèn)風(fēng)速已測(cè)試完成且空調(diào)系統(tǒng)運(yùn)轉(zhuǎn)24小時(shí)后開(kāi)始測(cè)試。

2.?每個(gè)空調(diào)溫控區(qū)至少有一個(gè)測(cè)試點(diǎn)。（原文 ）

3.?測(cè)量高度為1.2米或1.5米的假定工作面或?qū)嵺`的全部數(shù)量及位置可有業(yè)主與承商共同協(xié)商定之。保證每50平米至少有五個(gè)測(cè)試點(diǎn)。

七．環(huán)境噪音測(cè)試?

1.?利用聲級(jí)計(jì)測(cè)試，每40平米及每一獨(dú)立房間須測(cè)量一點(diǎn)。

2.?須啟動(dòng)潔凈室所有相關(guān)空調(diào)設(shè)備，但其它設(shè)備為停止?fàn)顟B(tài)。

3.?所測(cè)量值不得超過(guò)設(shè)計(jì)及業(yè)主規(guī)定。

5.?測(cè)量高度為1.2米或1.5米的假定工作面或由業(yè)主與承商共同協(xié)商定之。

八．氣密性(Enclosure??infilteation??leak)測(cè)試?

1.?鐘對(duì)潔凈室內(nèi)門窗?所有建筑結(jié)構(gòu)可能得縫隙及管道間與所有管線進(jìn)入潔凈室的接縫。

2.?可采用漏光法或感觀觸摸等方法檢測(cè)。

九．照度測(cè)試?

1.?采用照度儀測(cè)試，所有測(cè)試點(diǎn)數(shù)，位置，高度可由業(yè)主與承商共同協(xié)商定之。一般為距地面1.2米或1.5米的假定工作面。

2.?日光燈系統(tǒng)至少運(yùn)轉(zhuǎn)100小時(shí)白彘燈須連續(xù)20小時(shí)以及潔凈室相關(guān)設(shè)備系統(tǒng)至少運(yùn)轉(zhuǎn)2小時(shí)或室內(nèi)溫度已達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài)后才能測(cè)試。

十．地板及墻板靜電測(cè)試?

1.?采用高阻表測(cè)計(jì)，測(cè)試前須用相關(guān)溶液擦洗。

2.?地板一般測(cè)試”+”?”-“兩極間距至少>=600mm,或按每36平方米一個(gè)測(cè)試點(diǎn)為原則進(jìn)行測(cè)試。

3.?墻板一般測(cè)試”+”?”-“兩極間距至少>=900mm,或按每36平方米一個(gè)測(cè)試點(diǎn)為原則進(jìn)行測(cè)試。

4.?地板表面電阻一般為1.0*104~~1.0*106奧姆。

? 墻面電阻一般為1.0*106~~1.0*108奧姆。